Die Feinreinigung, auch Kontrollreife- oder Beschichtungsreife-Reinigung genannt, ist die Reinigung von überwiegend runden oder rechteckigen Optiken sowie von Erzeugnissen mit höhsten Reinigungsanforderungen (Hochvakuumbereich). Diese Art der Reinigung besteht aus verschieden Einzelprozessen wie Vorreinigung, Reinigung, Neutralisierung, Spülen, Fein- bis Feinstspülen und Trocknen.

Die vollautomatischen Anlagen (ATS) werden dabei mit dem bestücken Warenträgern entweder über ein Transportband oder direkt über die Aufgabestation beschickt. Durch Wahl eines Programms und dessen Start, wird der in dem Programm gespeicherte Ablauf mit Parametereinstellungen für jeden zu absolvierenden Prozess vollautomatisch durchgeführt. Dieser Ablauf kann optional zur Dokumentation oder Reproduzierbarkeit wiederum mit festgelegten Größen als plattformunabhängige Datei gespeichert werden.

Da diesen Anlagen überwiegend in Reinräumen verschiedener Klassen aufgestellt werden ist die technische Ausführung der Anlage ebenfalls dem Aufstellort entsprechend. So werden Ritzen und Fugen in denen sich Stäube absetzen oder bewegliche Teile wie Antriebe und Motoren durch die Stäube entstehen können vermieden oder auf ein Minimum reduziert.

Ein möglichen Abschluss der Feinstreinigung in der optischen Industrie stellt die Trocknung mit Isopropylakohol dar. Diese Art der Trocknung ermöglicht eine komplett wasserfreie und nahezu partikelfreie Oberfläche der Erzeugnisse.